主要技術(shù)指標(biāo)

氣體純度：優(yōu)于99.999%
輸出壓力：0~0.4Mpa（出廠設(shè)定）
最大流量：500ml/min（SCCM）
實際尺寸：210x380x385mm

主要技術(shù)特點

全自動型，流量LED顯示，自動跟蹤，操作簡單，維護方便
氣路液路相對獨立，隔離良好，徹底解決返液問題
雙電解池串聯(lián)，并采用微孔電極，電解效率高，使用壽命長
設(shè)有兩級過壓保護，停用時殘留氣體少，確保使用安全